* LCD、Touch Panel 、PCB等製程的Pattern 觀察、基板漲縮尺寸的量測。
* 工作台 (X Y ）： 300x200, 500x400, 650x550 mm
* 光學尺 精度： 1 μm
* 光學系統：可指定搭配 OLYMPUS , NIKON , Naritar Zoom Lens
* 量測軟體：影像量測軟體( 具SPC統計功能) 或選購特定規格